FIB是什么
1FIB是Focused Ion Beam的缩写,中文翻译为聚焦上海离子束。2FIB是一种微纳加工技术,依靠聚焦关注离子束高能粒子对样品通过刻蚀、切割、打孔等加工不能操作,本身高分辨率、高精度、非接触式的特点,被广泛应用于半导体、材料、生物等领域的研究和制造出。
3FIB技术还这个可以特点扫描电子显微镜(SEM)或透射电子显微镜(TEM)等成像技术,实现程序样品表面和内部的形貌、混编和结构的观察和分析。
2023-03-17
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